光伏产业指以硅材料的应用开发形成的光电转换产业链条。在碳达峰和碳中和提出的背景下，光伏行业迎来大发展，而真空技术与产品能够更有效帮助用户实现太阳能电池板的大规模自动化生产并提高利润率,为企业降本增效。

一、光伏行业厂务真空应用

在太阳能组件生产过程中，真空搬运是厂务真空重要的一个应用环节。为了实现高效且精准的工件夹持搬运(如硅片、电池、封装线和成品)会需要利用真空技术，相应的真空抓举背后都需要大流量的中央真空系统支持。

SVT系列油螺杆真空泵是中央真空系统的理想选择，其抽速覆盖全面,型号齐全，同时提供风/水冷配置，可为有连续真空需求的客户提供全面完整的解决方案。厂务真空相对抽到的气体品质更好，可以延长泵的维保周期和使用寿命。

流量范围：605 m3/h -5740m3/h

二、真空技术在光伏行业中的应用

1. 拉晶工艺：用在单晶硅和多晶硅的烧结炉中,可防止杂质污染,防止和其他气体的反应,提高拉晶纯度；

2. 刻蚀工艺：对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀，以避免PN结正面所收集到的光生电子沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面,而造成短路；

3. 层压工艺：排出封装材料间隙的空气和层压过程中产生的气体，消除组件内气泡;在层压机内部造成一个压力差，产生层压所需要的压力；

4.输送工艺：在生产光伏模块工艺时，需要利用真空技术实现高效而精准的工件搬运(如硅片、电池、封装线和成品模块等)。

三、拉晶工艺

1.工艺挑战

（1）晶体生长对环境有着极其严苛的要求，需要充满惰性气体的真空环境中；

（2）晶体在生长时，由于炉内的高温会挥发出一些杂质以及硅氧化物，它们会破环炉内环境；

（3）产生的杂质以及硅氧化物被吸入传统油式真空泵中后，会与泵油混合在一起随着时间的增长,真空泵的性能会严重降低。

2. 英格索兰真空泵在拉晶工艺中的解决方案

（1）抗腐蚀能力:内置涂层提升抗腐蚀能力；

（2）卓越的性能:极限真空度更符合工艺需求、抽速更贴合工艺要求；

（3）抽速范围:150-780m3/h；

（4）极限真空度:0.03 mbar；

（5）无需频繁更换真空泵可连续工作10,000小时；

（6）更低的维护费用:无油的特点,为客户节省更换泵油的开销；

（7）无需润滑油:完美避免挥发的杂质和硅氧化物对润滑油的损害；

（8）可靠的密封结构:机械密封、唇形密封、活塞环密封,组合式密封可供选择；

（9）氮气吹扫:吹扫壳体内部的粉尘和杂质,保证更长的使用寿命。

四、层压工艺

1.工艺挑战

(1）EVA胶的特性

通常EVA胶中添加的过氧化物和抗氧化剂会随着温度的升高而逃逸出来，这些物质与EVA交联产生化学反应形成新的物质被吸入真空泵中，并吸附在泵内的各部件上或者泵油中，导致真空泵性能下降。

(2）全天候工作层压一般都是全天候连续工作,需要较高的真空泵性能保证组件内无空气或气体夹杂。

(3）冷却

 直接冷却导致温差过大，会造成冷凝情况。

2. 英格索兰真空泵在层压工艺中的解决方案

双层层压结构可以提高太阳能电池的效率和稳定性，同时实现组件的瘦身化设计。

(1) 层压腔 & 固化腔VS系列干式螺杆真空泵

●极限真空度：0.03mbar；

●抽速范围：150-780m3/h；

●卓越的性能：可保证长时间高效的运作能力；

●无需润滑油：避免了EVA胶熔化后产生的杂质对真空泵性能的损害；

●间接冷却：水套夹层内安装了不锈钢管，管内通冷却水，通过流动的冷却水冷却避免冷凝现象的发生。

(2)VWA罗茨真空泵

●机械密封

●低机械噪音

(3)    冷却腔VLR系列爪式真空泵

●极限真空度：50mbar

●抽速范围：62-1000m3/h

●防腐蚀能力：二硫化铂/PTFE涂层，任何冷凝水都可以。

●自由向下排放

●高效能

●生命周期成本低

除双层层压工艺外，多层层压的方式可以在有限的空间内集成多种功能，例如太阳能电池、反射层、透明导电层等。这种多层层压结构使得光伏组件可以实现更高的能量收集效率和更多的功能应用，提高了整体性能和可靠性。英格索兰真空泵也可为多层层压工艺提供更高效、更节能的解决方案。